“中国的半导体产业正处于飞速发展之中，我们看见了中国市场巨大的机会，在国家支持、政府的推动下，巴斯夫将在国内不断投入、支持中国半导体产业的发展。”巴斯夫电子材料中国区总经理窦峥在接受包括大半导体产业网在内的媒体采访时这样说道。
随着半导体产业的发展进步，半导体制程实现单位数节点，现有达到7nm、5nm节点制造工艺，不断缩小的设计制程要求同等先进的化学品来支持制造工艺。其中，电子级硫酸对化学工业的影响较为重要，近年来，电子级硫酸在中国市场的需求以每年12%的复合率增长，并且未来被用于先进制程的需求将不断上升。
近日，巴斯夫宣布，位于浙江嘉兴的新建电子级硫酸(H2SO4)装置正式投入运营，将主要服务于国内日益增长的半导体制造行业。在客户强劲需求的推动下，该装置尚未竣工即同时启动扩建项目，扩容后产能将翻番，达到二万四千吨。扩建项目预计将于今年年底投产。
据言甯璿介绍，2016年至2018年，巴斯夫开始电子级硫酸本地化生产，巴斯夫电子材料嘉兴生产装置开始投入运营，为中国半导体行业本地化供应超纯材料迈出步。在市场强劲的需求下，巴斯夫将继续扩大生产规模，与国内领先芯片制造企业开展业务，为中国超纯材料的大规模生产保驾护航。
要想与市场上现有的企业竞争，至关重要的是能够提供高质量的产品以及卓越的供应链服务。“嘉兴装置，为增长而建立”，巴斯夫电子材料嘉兴生产装置不断推进材料生产本地化，追随客户的脚步，向北京、上海、南京、重庆、成都、厦门等主要晶圆厂提供可靠的供应。据悉，巴斯夫还专门设有稳定的物流环节确保可靠的供应。长远来看，巴斯夫在中国的扩建，也是满足未来增长需求的一大有利举措，强化布局全球化网络。
该套新装置位于上海西南的浙江省嘉兴市海滨城镇乍浦，配备了先进的技术，将生产高品质的硫酸。因为在制造小于10纳米单位数节点晶片的过程中需要经过数百道清洗工序，新装置所生产的硫酸将主要用于此过程中半导体晶片的清洁。这一装置拥有先进的质量分析设备和配有专用无尘室的分析实验室，旨在满足中国电子行业客户的未来需求。
值得一提的是，在嘉兴硫酸装置分化过程中，采用全自动化的方式，大限度减少工作人员在工作过程中暴露的可能，保证了安全性。“其中配备在线生产控制系统，采用硬件结合软件一体化设计，能够真正实现生产无缝连接与可视化，运用多步过滤技术，大程度实现微量金属粒子去除，保证了超高纯度硫酸的品质与稳定性，同时回收利用部分化学品，做到零排放，大大增强环境友好性。”巴斯夫电子材料事业部中国区项目及工厂营运总监李超说到。
另外，巴斯夫的检测与分析能力在同样样本中分析出的粒子更加密集，其分析能力和特有工艺通过行业领先的识别尘粒计数水平方式能够确保佳质量，高于行业平均水平。并且，巴斯夫正持续向更高灵敏度推进。
巴斯夫嘉兴装置所生产的硫酸在性能水平上已经超越了当今速度快、性能优的半导体标准要求，其质量与稳定性在业内首屈一指。嘉兴装置依托巴斯夫全球研发网络与专业生产技术，成功搭建出生产工艺的复杂架构，并实施质量管理专有体系。
作为全球领先的电子材料供应商，巴斯夫三十多年来在中国不断壮大本土团队，发挥长期在全球累积的经验优势，结合专业的技术知识帮助中国客户成长，为电子行业提供多种解决方案，包括经过高纯度先进方法加工的特种化学品组合以及面向电子行业的应用和定制化解决方案。真正实现“携手客户共同创造化学新作用，创新电子未来”的美好愿景。
