MEMS即微机电系统(Microelectro Mechanical Systems),是MEMS传感器在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。它 涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。随着可穿戴智能设备的发展,特别是医疗可穿戴智能设备,主要依靠MEMS传感器,从而检测到穿戴者的身体各项信息。
MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比,它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时,在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。
据介绍,可穿戴设备主要包括处理器和存储器、电源、无线通信,以及传感器和执行器。目前,穿戴式设备中的传感器包括惯性、生物和环境类传感器。未来,各类传感器功能性的全融合将成为传感器的研发方向,而可穿戴设备的应用领域也将从外置的手表、眼镜、鞋靴逐渐进入人体,如智能隐形眼镜、PH胶囊等,就将为人体医疗保健作出贡献。而可穿戴设备的对象也将由人及动物延伸到房屋、桥梁等无生命物体。
可穿戴设备热潮席卷而来,也给产业链各环节带来新的淘金机会,处于产业链上游技术核心的MEMS传感器也受惠于此,这些原本用于汽车、智能手机、平板电脑的传感系统正在进入可穿戴设备领域。MEMS传感器附加值高,是人机互动的重要基础,被认为是可穿戴技术创新和未来发展潜力的重要方向。